布莱克半导体申请半导体装置及其制造方法专利,实现光子平台与电子部件的高效集成
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2026-04-02 19:41:43
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国家知识产权局信息显示,布莱克半导体有限责任公司申请一项名为“半导体装置和半导体器件及其制造方法”的专利,公开号CN121763490A,申请日期为2020年12月。

专利摘要显示,本申请涉及一种半导体装置,其包括具有优选单片半导体衬底,特别是硅衬底(2)的晶圆(1),以及在半导体衬底(2)内和/或上延伸的至少一个集成电子部件(3),其中,所述晶圆(1)包括具有集成电子部件(3)或至少一个集成电子部件的前段制程(5),以及包括位于前段制程(5)上方的后段制程(6)和光子平台(8),所述光子平台(8)在背离前段制程(5)的晶圆(1)的侧面(9)制造,平台包括至少一个波导(12)和至少一个电光器件(15),特别是至少一个光电探测器和/或至少一个电光调制器,其中所述光子平台(8)的电光器件(15)或至少一个电光器件连接至晶圆(1)的集成电子部件(3)或至少一个集成电子部件。

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来源:市场资讯

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