中微半导体申请半导体处理设备零部件老化处理相关专利，有效维持刻蚀工艺的稳定性
创始人
2025-06-07 12:35:48
0次
金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“半导体处理设备零部件的老化处理方法及半导体处理设备”的专利，公开号CN120108994A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体处理设备零部件的老化处理方法及半导体处理设备。本发明的老化处理方法包含：提供一半导体处理设备，包含：腔室和安装于所述腔室内的待处理零部件；老化处理步骤：向所述腔室内通入第一工艺气体，以在所述待处理零部件表面沉积形成C‑F老化层；清洗步骤：向所述腔室内通入第二工艺气体，去除所述C‑F老化层表面的疏松层，保留致密平滑的C‑F老化层。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了27家企业，参与招投标项目65次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息1520条，此外企业还拥有行政许可72个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
25股获融资净买入额超1亿元 ...
Wind统计显示，12月15日，申万31个一级行业中有11个行业获融资净买入，其中，电子行业获融资净...
2026春季新教材北京版八年级...
2026年春季初二学生部分科目将迎来新版教材，新版教材特别强调知识之间的联系和实际生活中的应用！为方...
水晶光电（002273）12月...
证券之星消息，截至2025年12月15日收盘，水晶光电(002273)报收于24.09元，下跌2.8...
天奥电子：目前公司低轨卫星领域...
每经AI快讯，天奥电子在互动平台表示，目前公司低轨卫星领域相关产品收入占比较低，公司将聚焦主责主业，...
半导体早参 | 沐曦股份将于1...
2025年12月15日，截至收盘，沪指跌0.55%，报收3867.92点；深成指跌1.10%，报收1...
苏州聚铭星电子科技有限公司成立...
天眼查App显示，近日，苏州聚铭星电子科技有限公司成立，法定代表人为张红光，注册资本100万人民币，...
高速串行通信示波器推荐适配汽车...
《2025年全球示波器市场发展白皮书》指出，随着高速串行通信技术在汽车、消费电子等行业的渗透，示波器...
宏明电子拟登陆创业板，这家67...
本文共2300 字 阅读完约5分钟 金融投资报记者 陈雨禾 12月12日，成都宏明电子股份有限...
埃科光电（688610）披露召...
截至2025年12月15日收盘，埃科光电（688610）报收于58.59元，较前一交易日下跌0.93...
四川长虹：旗下长虹电源自主研发...
中证报中证网讯（王珞）近日，四川长虹旗下长虹电源自主研发的800V高压平台电池组成功保障我国国产首款...