湖北星辰申请半导体结构及其套刻误差测量方法专利，能够提高两个半导体结构的对准精度
创始人
2025-06-20 13:39:43
0次
金融界2025年6月20日消息，国家知识产权局信息显示，湖北星辰技术有限公司申请一项名为“半导体结构及其套刻误差测量方法”的专利，公开号CN120184149A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种半导体结构及其套刻误差测量方法，涉及半导体技术领域，更容易检测到第一标识和第二标识相互平行的侧边轮廓，有利于提高测量两者的两条邻边之间的间距的精准度，能够提高两个半导体结构的对准精度。第一半导体结构包括第一标识；第一标识的材料包括导电材料。第二半导体结构设置于第一半导体结构的一侧，包括多个第二标识。第二标识沿第一半导体结构和第二半导体结构的堆叠方向延伸，且一端从第二半导体结构的表面暴露。沿垂直于第一半导体结构和第二半导体结构堆叠的方向，多个第二标识中至少部分第二标识位于第一标识的至少一侧，且与第一标识之间具有间隔。第二标识的至少一条侧边与第一标识的侧边平行。
天眼查资料显示，湖北星辰技术有限公司，成立于2021年，位于武汉市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本2935.8218万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北星辰技术有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目28次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息69条，此外企业还拥有行政许可16个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
国博电子：董事长梅滨因到龄退休...
国博电子12月19日公告，公司董事会于近日收到公司董事长、法定代表人梅滨提交的书面辞职报告。因到龄退...
赛微电子：公司为专业MEMS芯...
证券之星消息，赛微电子(300456)12月19日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...
车间设备频繁跳闸?创稳电气 3...
在工业车间生产中，设备频繁跳闸是困扰企业的常见问题，不仅导致生产中断、效率下降，还可能加速设备老化、...
中信证券：看好半导体设备行业的...
12月19日，中信证券研报称，9月以来，受下游大客户英特尔一系列注资合作、存储原厂陆续涨价等事件催化...
“激光雷达芯片第一案”再起波澜...
记者 濮振宇 12月17日，灵明光子发布声明称，其就速腾聚创（02498.HK）E1系列，包括但不限...
半导体设备ETF（159516...
半导体设备ETF（159516）近10日资金净流入近10亿元，行业扩产与国产替代逻辑受关注。 东方证...
半导体设备ETF（561980...
12月18日，三大指数涨跌不一，医药、商业航天等表现较好，电池、半导体产业链有所回调。半导体设备ET...
大摩、美银一致预见芯片股“长牛...
从2024年复苏到2025年持续强劲，半导体行业从未经历过如此复杂的周期叠加。 摩根士丹利发布的最新...
芯片ETF：12月18日融资买...
证券之星消息，12月18日，芯片ETF（512760）融资买入1135.44万元，融资偿还1333....
融资榜丨居同类基金首位！科创芯...
12月18日，科创芯片ETF（588200）报收2.233元，收跌1.5%，成交金额18.45亿元。...