FEI 公司申请使用带电粒子束和有源像素控制传感器来分析样品的系统和方法专利，利用单个检测器为样品提供一维和多维数据
创始人
2025-06-23 17:08:27
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金融界2025年6月23日消息，国家知识产权局信息显示，FEI 公司申请一项名为“使用带电粒子束和有源像素控制传感器来分析样品的系统和方法”的专利，公开号 CN120177530A，申请日期为 2024年12月。
专利摘要显示，使用带电粒子束和有源像素控制传感器来分析样品的系统和方法。本文教导的系统和方法利用单个检测器来为利用带电粒子束询问的样品提供一维数据(例如，用于直接形貌成像)和多维数据(例如，用于晶体学数据)两者。在一些示例中，一维数据可包括由于跨整个检测器表面接收的反向散射电子而产生的信号强度，而多维数据可包括作为像素位置的函数的由于反向散射电子而产生的信号强度。通过从单个检测器获得一维数据和多维数据，可在相同位置、同时地或既在相同位置又同时地获得该一维数据和多维数据。
来源：金融界
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