宸微设备申请匀气组件及半导体设备专利，提高晶圆的良率
创始人
2025-06-24 09:38:13
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金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“匀气组件以及半导体设备”的专利，公开号CN120199674A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，一种匀气组件以及半导体设备，所述匀气组件应用于半导体设备中，设置在晶圆载盘的四周，所述匀气组件包括等离子截止匀气环和发热单元，其中等离子截止匀气环上包括多个镂空孔，发热单元设置在等离子截止匀气环的底部。所述等离子截止匀气环的多个镂空孔供气体通过，有利于提高气体的导流效率；同时通过设置在等离子截止匀气环底部的发热单元对等离子截止匀气环加热，能够有效去除截止匀气环截止匀气环上残留的副产物，避免副产物在等离子截止匀气环上累积，使得副产物不易污染晶圆，从而提高晶圆的良率和延长机台的预防维护性周期。
天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息57条，此外企业还拥有行政许可3个。
来源：金融界
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