钧摩芯半导体申请基于等离子技术的半导体废气处理装置专利提升设备适应性与维护便捷性_行业新闻

钧摩芯半导体申请基于等离子技术的半导体废气处理装置专利提升设备适应性与维护便捷性

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2025-07-07 14:39:45

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金融界2025年7月7日消息，国家知识产权局信息显示，厦门钧摩芯半导体有限公司申请一项名为“一种基于等离子技术的半导体废气处理装置”的专利，公开号CN120242693A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于等离子技术的半导体废气处理装置，该装置由预处理、除尘、等离子体反应及后处理四大模块构成，各模块通过柜体实现可拆卸连接，增强了灵活性与维护便利性。预处理模块含前置筒及气体匀化结构，确保废气均匀分布，并配备传感器监测浓度。除尘模块由至少两个可串联的除尘器组成，选择性强。等离子体反应模组利用蜂窝状电极结构，配合电源模组，高效净化废气。后处理模块采用喷淋器，内置溢流管形成拦截式水幕，进一步净化废气。此设计打破了传统废气净化设备连接固定的局限，提升了设备适应性与维护便捷性，有效解决了半导体制程废气净化中的灵活性与维护难题，为半导体行业废气处理提供了高效、灵活的解决方案。

天眼查资料显示，厦门钧摩芯半导体有限公司，成立于2021年，位于厦门市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门钧摩芯半导体有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息14条，此外企业还拥有行政许可4个。

来源：金融界

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