大族半导体取得载台装置及激光退火设备专利，方便、快速地实现晶圆的温度检测和控制
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2025-07-12 20:09:35
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金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司取得一项名为“载台装置及激光退火设备”的专利，授权公告号CN223092852U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本申请公开了一种载台装置及激光退火设备，包括载台、温度传感器和控制器。载台用于承载晶圆；温度传感器能够与载台承载的晶圆间隔设置，温度传感器用于检测载台承载的晶圆的温度，以生成温度信号；第一吹气件，设有第一吹气孔，第一吹气孔能够与保护气气源连通，第一吹气孔用于朝载台承载的晶圆吹保护气，以降低晶圆的温度；控制器与温度传感器通信连接，控制器用于接收温度信号，以调节保护气气源向第一吹气孔输出的保护气的流量和流速。
天眼查资料显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司，成立于2018年，位于深圳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本12000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市大族半导体装备科技有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目208次，专利信息813条，此外企业还拥有行政许可17个。
来源：金融界
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