中科飞测获得发明专利授权：“寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质”_行业新闻

中科飞测获得发明专利授权：“寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质”

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2025-07-16 05:37:51

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质”，专利申请号为CN202510461202.4，授权日为2025年7月15日。

专利摘要：本申请公开了一种寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质，属于半导体检测技术领域。所述方法包括：控制承载有参考物与待测物的载物台与物镜在垂直方向相对运动，使得载物台上所承载的参考物与物镜在垂直方向上依次处于多个不同的高度距离；其中，该载物台具有第一承载区域和第二承载区域。在每个高度距离时，控制对该载物台上的参考物进行拍摄，得到参考物在每个高度距离时的参考图像。基于该参考物在多个不同的高度距离时的参考图像，确定目标高度距离，目标高度距离用于确定对待测物进行扫描时载物台或待测物与物镜之间初始的高度距离。本申请通过引入参考物，能够提高确定出的目标高度距离的准确性。

今年以来中科飞测新获得专利授权43个，较去年同期减少了41.89%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了4.98亿元，同比增118.17%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息327条，专利信息965条，著作权信息35条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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方法信息半导体检测天眼参考物镜高度专利距离参考物中科飞测载物台

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