绍兴佳善微电子取得MEMS绝压压力传感器专利，测量范围更大
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2025-07-20 00:38:06
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金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，绍兴佳善微电子科技有限责任公司取得一项名为“一种MEMS绝压压力传感器”的专利，授权公告号CN223122390U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，一种MEMS绝压压力传感器，包括衬底，还包括中间绝缘隔离层、通孔层、绝缘封装层、用于感应压力的传感器膜层以及用于连接传感器膜层的导电材料组件；所述衬底设有一凹槽；所述传感器膜层为凹槽的基底，并通过中间绝缘隔离层做支撑；所述传感器膜层连接于衬底与中间绝缘隔离层之间；所述传感器膜层设有压阻电阻，并且传感器膜层通过压阻电阻连接导电材料组件；所述中间绝缘隔离层与通孔层连接，通孔层与绝缘封装层连接；所述中间绝缘隔离层通过光刻刻蚀出传感器膜层的开口；所述通孔层上开设有与开口相通的真空腔；所述真空腔位于传感器膜层与通孔层之间。
天眼查资料显示，绍兴佳善微电子科技有限责任公司，成立于2024年，位于绍兴市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，绍兴佳善微电子科技有限责任公司专利信息5条。
来源：金融界
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