拓荆科技申请降低氧化铝薄膜漏电流的方法专利，降低制得的氧化铝膜的薄膜漏电流
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2025-07-22 10:39:13
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金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为“降低氧化铝薄膜漏电流的方法”的专利，公开号CN120350356A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供了一种降低氧化铝薄膜漏电流的方法，具体地，所述方法包括首先使三甲基铝与醇在晶圆表面进行第一反应制得第一氧化铝膜，再使三甲基铝与水在所述第一氧化铝膜表面进行第二反应制得第二氧化铝膜。本发明方法结合醇和水作为反应物，可以降低制得的氧化铝膜的薄膜漏电流。本发明方法结合醇和水作为反应物，可以使制得的氧化铝膜提升薄膜的致密性，进而降低水蒸汽透过率。
天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息272条，此外企业还拥有行政许可29个。
来源：金融界
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