长江存储申请监测方法等相关专利，实现更为精细的半导体工艺设备监测_行业新闻

长江存储申请监测方法等相关专利，实现更为精细的半导体工艺设备监测

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2025-08-06 20:39:49

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金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，长江存储科技有限责任公司申请一项名为“监测方法、监测参数训练方法、监测装置、训练装置及监测系统”的专利，公开号CN120432395A，申请日期为2024年02月。

专利摘要显示，本申请提供了一种监测方法、监测参数训练方法、监测装置、训练装置及监测系统，涉及半导体芯片技术领域。监测方法包括：获取半导体工艺设备的监测参数，监测参数包括多个时长区间，以及与时长区间对应的上限参数和下限参数。获取特征数据，基于特征数据和监测参数，监测半导体工艺设备；其中，特征数据用于表征传感器采集半导体工艺设备数据的特征。本申请实施方式通过划分多个时长区间，每个时长区间均有对应的上限参数和下限参数，从而能够根据半导体工艺设备的运行时长动态调整工艺的卡控参数，对半导体工艺设备实现更为精细的监测，提高了对半导体工艺设备监测的准确性。

天眼查资料显示，长江存储科技有限责任公司，成立于2016年，位于武汉市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12469608.0404万人民币。通过天眼查大数据分析，长江存储科技有限责任公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1396次，财产线索方面有商标信息978条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可1005个。

来源：金融界

企业方法参数监测半导体时长相关装置存储专利设备工艺

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