滨化股份获得发明专利授权：“一种半导体用管材洁净度测试方法及管材清洗方法”_行业新闻

滨化股份获得发明专利授权：“一种半导体用管材洁净度测试方法及管材清洗方法”

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2025-08-30 04:03:48

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示滨化股份（601678）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种半导体用管材洁净度测试方法及管材清洗方法”，专利申请号为CN202411351359.3，授权日为2025年8月29日。

专利摘要：本发明涉及半导体生产过程的相关部件领域，具体为一种半导体用管材洁净度测试方法及管材清洁方法。包括：采用超纯水对管材进行水洗，去除管材附着的杂质；选择使用分子量小、渗透性极强的电子级氢氟酸作为酸洗物料，通过酸洗流程对管材进行深层次浸泡清洗，充分清除管材中的金属离子、阴离子、颗粒等杂质，达到预定的清洗判定标准后，进行洁净度测试。测试流程充装一定量的电子级氢氟酸，采取放置、间隔测试的方法进行表征，根据测试数据，计算管材杂质的析出量，基于以上测试方法提出一种半导体用氟聚合物管材的清洁方法，实现了清洗成本和时间的灵活调整，满足高级别湿化学品/光刻胶的使用要求。

今年以来滨化股份新获得专利授权12个，较去年同期增加了140%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6070.04万元，同比减1.43%。

通过天眼查大数据分析，滨化集团股份有限公司共对外投资了40家企业，参与招投标项目324次；财产线索方面有商标信息47条，专利信息121条，著作权信息7条；此外企业还拥有行政许可287个。

数据来源：天眼查APP

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