陛通半导体申请使用高频脉冲电源生长溅射铜膜工艺方法专利，解决填孔能力差问题
创始人
2025-05-20 15:07:16
0次
金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，陛通半导体设备（苏州）有限公司申请一项名为“一种使用高频脉冲电源生长溅射铜膜的工艺方法”的专利，公开号CN120006237A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种使用高频脉冲电源生长溅射铜膜的工艺方法，包括以下步骤：提供PVD腔体、晶圆，PVD腔体内设置有靶材、加热器，靶材设置有HIPIMS电源、DC电源，加热器下方设置有一AC电源；晶圆位于加热器上；靶材在HIPIMS电源的情况下，控制PVD腔体的溅射参数；将靶材的电源切换到DC电源，控制PVD腔体的溅射参数：设置功率15‑25kw，AC电源偏压功率100‑300w，直到满足镀铜层的化学和机械抛光，本发明解决了现在大多数磁控溅射腔体，其使用场景大多为平面镀膜，其填孔能力较差，尤其在高深宽比的应用场景时，不能很好的满足制程的需求。
天眼查资料显示，陛通半导体设备（苏州）有限公司，成立于2020年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20500万人民币。通过天眼查大数据分析，陛通半导体设备（苏州）有限公司参与招投标项目3次，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可8个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
检测光耦（光电耦合器）的好坏
一、视觉检查 检查光耦的外观，确保没有明显的损坏、烧毁或物理变形，引脚是否折断、封装是否破裂等。 图...
盛景微：嵌入EEPROM的延期...
证券之星消息，盛景微(603375)07月03日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者：你...
截至今日8时，北京今年的雨比常...
新京报讯（记者王景曦）今天（7月3日），北京市气象台发布全市雨量气候统计，自今年1月1日至7月3日8...
原创 华...
目前有博主爆料称，年底有新旗舰全系列测试 2.5D 大尺寸直屏，6.75/6.89±1.5K，后者双...
富瀚微等投资成立新公司 含集成...
公开资料显示，近日，眸芯科技有限公司成立，法定代表人为杨松涛，经营范围包含： 集成电路芯片设计及服务...
ETF主力榜 | 半导体设备材...
2025年7月3日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收跌0.19%，主力资金（单笔成交额1...
芯迈半导体冲刺港股：年营收15...
雷递网 雷建平 7月3日 芯迈半导体技术（杭州）股份有限公司（简称：“芯迈半导体”）日前递交招股书，...
女大学生当家教被欠薪4000多...
小郑是一名大学生，为了减轻家里的经济负担，平时她都是打工赚取学费和生活费。去年暑假，经人介绍，小郑在...
元太科技子公司川奇光电通过UL...
（全球TMT2025年7月3日讯）全球电子纸领导厂商E Ink元太科技宣布，中国大陆子公司川奇光电（...
中颖电子：公司目前主要推广给品...
证券之星消息，中颖电子(300327)07月03日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...