上交所官网显示，上交所上市审核委员会将于11月14日审核深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首发事项。

上证报中国证券网讯（记者 孔令仪）上交所官网显示，上交所上市审核委员会将于11月14日审核深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称“恒运昌”）首发事项。

据招股说明书（上会稿），恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商。公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、配件（滤波器、阻抗调整器等）；引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件。同时，公司还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。

在自主研发方面，恒运昌表示，等离子体射频电源系统作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节所需要的关键核心零部件,随着先进封装技术的发展被应用于更多工艺环节中。等离子体射频电源系统具有基础性和战略性的地位,但目前全球的产品供应主要被美系厂商垄断。公司在国内晶圆厂的生产可持续性、扩产可持续性以及供应链自主可控三方面积极贡献力量，对推动我国半导体产业关键零部件的国产化和自主化发挥重要作用。

具体来看，恒运昌围绕等离子体射频电源系统更快速、更精准、更稳定的应用要求和技术难点，构建了完善的技术体系，从测量、控制到架构形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。截至报告期末，公司拥有已授权发明专利108项，在申请发明专利133项。

针对上述关键核心技术，恒运昌已开发多款性能指标表现良好的产品，相关产品已批量应用于半导体28纳米及以上工艺制程，可满足逻辑芯片、动态存储器（DRAM）和闪存（NAND）等芯片制造的需求。公司最新一代产品Aspen系列可支撑7纳米-14纳米先进制程，已达到国际先进水平，填补国内空白。

值得注意的是，在国内半导体领域，恒运昌是首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际等国内晶圆厂，获得业内广泛认可。