上海晶维材料科技申请中高熵合金吸气靶材和吸气薄膜及其制备方法专利，适用于半导体MEMS器件领域
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2025-12-01 18:36:29
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国家知识产权局信息显示，上海晶维材料科技有限公司申请一项名为“一种中高熵合金吸气靶材和吸气薄膜及其制备方法”的专利，公开号CN121023333A，申请日期为2025年8月。专利摘要显示，本发明涉及半导体MEMS器件领域，公开了一种中高熵合金吸气靶材，所述中高熵合金吸气靶材成分由主体元素A、元素C以及元素B组成，所述主体元素A含量为25-40 at％，元素B含量为30-45 at%，元素C含量为30-45at %；配方方程式为：A。
天眼查资料显示，上海晶维材料科技有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海晶维材料科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可5个。
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来源：市场资讯
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