北方集成电路申请硅基板互连基板测试方法专利，提高评估互连基板性能的效率及故障排除能力
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2026-01-05 10:08:51
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国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、清华大学申请一项名为“硅基板互连基板的测试方法、装置和计算机设备”的专利，公开号CN121254038A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本申请涉及一种硅基板互连基板的测试方法、装置和计算机设备。所述方法包括：确定所有第一传输门导通的互连基板为第一基板；根据预设测试比特流对第一基板进行扫描测试，以得到扫描测试结果，若重分布层通路正常，则确定所有第一传输门断路且所有第二传输门导通的互连基板为第二基板；根据测试电信号对第二基板进行故障测试，以得到故障测试结果，若硅通孔阵列不存在故障，则将第二基板恢复为互连基板；根据预设的初始环路区域对互连基板进行压降检测得到压降检测结果，若压降检测结果为互连基板的压降不超过预设压降，则确定互连基板的通断性能测试结果为互连基板合格。本方法能够利用传输门的通断，提高评估互连基板性能的效率及故障排除能力。
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来源：市场资讯
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