宜宾英发德坤申请用于掺杂原子激活的激光选择性退火系统专利，有效提升TOPCon电池光电转换效率与稳定性
创始人
2026-01-09 14:08:50
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国家知识产权局信息显示，宜宾英发德坤科技有限公司申请一项名为“一种用于掺杂原子激活的激光选择性退火系统及方法”的专利，公开号CN121285087A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开一种用于掺杂原子激活的激光选择性退火系统及方法，旨在解决传统高温退火导致SiOx层退化、掺杂激活率低的问题。方法包括：硅片制绒→硼扩散→去BSG/碱抛→LPCVD沉积隧穿氧化层/多晶硅层/SiOx膜→激光选择性退火(调Q激光器532nm波长、振镜精准扫描、温控载台低温稳定)→去PSG/RCA→ALD沉积氧化铝→正背膜沉积→丝网印刷。该方法使SiOx层氧空位降75％、载流子复合中心降76％，多晶硅层激活率达80‑85％、方阻30‑40Ω/□，且工艺兼容、改造成本低，有效提升TOPCon电池光电转换效率与稳定性。
天眼查资料显示，宜宾英发德坤科技有限公司，成立于2023年，位于宜宾市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本208329.113924万人民币。通过天眼查大数据分析，宜宾英发德坤科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，专利信息57条，此外企业还拥有行政许可4个。
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来源：市场资讯
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