华芯半导体申请双极性静电卡盘电压控制电路专利，提高双极性静电卡盘的吸附效果
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2026-04-07 19:18:59
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国家知识产权局信息显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请一项名为“一种双极性静电卡盘的电压控制电路及系统”的专利，公开号CN121813827A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本申请公开一种双极性静电卡盘的电压控制电路及系统。该电压控制电路包括参考电路、电压输出电路、正采样调整电路、负采样调整电路以及选择控制电路，正采样调整电路对正向输出电压采样生成第一采样电压，并在第一采样电压与参考电压之和不等于零时生成第一调整信号。负采样调整电路对负向输出电压采样生成第二采样电压，并在第二采样电压与参考电压之和不等于零时生成第二调整信号。选择控制电路对第一调整信号与第二调整信号进行选择输出目标调整信号，以使得电压输出电路基于目标调整信号调整正向输出电压或负向输出电压。该电压控制电路通过采样、比较以及调节的闭环控制，提高输出电压的稳定性，从而提高双极性静电卡盘的吸附效果。
天眼查资料显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2650万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市华芯半导体装备技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息14条，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可5个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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