成都紫光半导体申请化学机械研磨机台冲洗系统和方法专利，有效避免化学品喷溅以及管路衔接错误的风险
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2025-06-07 17:06:02
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金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，成都紫光半导体科技有限公司申请一项名为“化学机械研磨机台的冲洗系统和冲洗方法”的专利，公开号CN120094919A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本公开涉及一种化学机械研磨机台的冲洗系统和冲洗方法。该冲洗系统包括：研磨液单元的出口端与目标管路的入口端、第一溶液管路、第二溶液管路的出口端连接，研磨液单元包括第一阀门，第一溶液管路的入口端与第一溶液供应端连接，第二溶液管路的入口端与第二溶液供应端连接；第一溶液管路的入口端上设有第二阀门，第二溶液管路的入口端上设有第三阀门；第一溶液管路和第二溶液管路的出口端上设有第四阀门；控制器在接收到冲洗指令时，根据预设时长控制阀门的开关状态。如此，预先架构一套用于实现冲洗的通路，在冲洗过程中，无需相关人员手动进行管路衔接，有效避免化学品喷溅以及管路衔接错误的风险；并通过控制器冲洗时间进行精准把控。
天眼查资料显示，成都紫光半导体科技有限公司，成立于2022年，位于成都市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析，成都紫光半导体科技有限公司专利信息28条。
来源：金融界
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