株洲中车时代半导体申请一种半导体外延结构形成方法及半导体器件专利，可避免外延工艺对光刻标记的影响
创始人
2025-06-17 16:08:30
0次
金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，株洲中车时代半导体有限公司申请一项名为“一种半导体外延结构形成方法及半导体器件”的专利，公开号CN120164793A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种半导体外延结构形成方法及半导体器件，半导体外延结构形成方法包括以下步骤：在衬底的背面进行光刻、刻蚀，形成光刻标记；在衬底的正面外延第一层第一型掺杂外延层，在第一层第一型掺杂外延层的表面旋涂光刻胶；或者在衬底的正面生长氧化层作为硬掩膜，随后在氧化层的表面旋涂光刻胶；将衬底正面的曝光标记对准背面的光刻标记，完成该层的曝光，对于多层外延工艺方案，以本发明的方法进行每一层外延层的对准，可避免外延工艺对光刻标记的影响，无需在外延后仍进行光刻标记的刻蚀，减少了大量的光刻、刻蚀工艺；同时，若每一层都与同一个对准标记进行对准，可以避免层与层之间的曝光误差累积。
天眼查资料显示，株洲中车时代半导体有限公司，成立于2019年，位于株洲市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本564763.3598万人民币。通过天眼查大数据分析，株洲中车时代半导体有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目2417次，专利信息603条，此外企业还拥有行政许可62个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
中华交易服务半导体芯片行业指数...
金融界6月17日消息，上证指数低开震荡，中华交易服务半导体芯片行业指数 (中华半导体芯片，99000...
“独角兽”企业成长记丨东微电子...
河南日报客户端记者 陈辉 近年来，半导体产业成为全球科技竞争的焦点，我国在芯片制造、设备与材料领域的...
苏州天准星智申请嵌入式AI边缘...
金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，苏州天准星智科技有限公司申请一项名为“一种嵌...
安徽省公路桥梁工程等取得悬索桥...
金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，安徽省公路桥梁工程有限公司、合肥工业大学取得...
6市局部大暴雨（150毫米）！...
山东省气象局今天16时发布降水预报，受暖湿气流和冷空气共同影响，预计18日傍晚到20日白天，山东自西...
示波器怎么用
你知道示波器是如何使用的吗？示波器是一种重要的电子测量工具，广泛应用于电子工程、物理实验和教育等领域...
几乎每天售罄！武汉多家医院已推...
“医院出减脂餐啦！” 近日，一位网友 在社交媒体平台上晒出了 武汉市第六医院推出的 “官方减脂餐”，...
沈阳一公交车失控冲向路边致2死...
6月17日晚，多名沈阳当地网友在社交平台发布短视频称，沈阳大学南门附近一辆公交车突然失控冲向路边，导...
原创 天...
智能手机芯片领域正在酝酿一场足以重塑旗舰格局的风暴，无论是骁龙8 Elite2还是天玑9500处理器...
利扬芯片多名股东拟转让共计65...
财中社6月17日电利扬芯片（688135）发布公告，出让方计划进行股东询价转让，涉及股份总数为658...