拓荆科技获得发明专利授权：“铝合金部件制造方法及半导体反应腔”
创始人
2025-06-21 03:36:53
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“铝合金部件制造方法及半导体反应腔”，专利申请号为CN202111618005.7，授权日为2025年6月20日。
专利摘要：本发明提供了铝合金部件制造方法及半导体反应腔，包含：将铝合金进行锻造或热轧；在所述锻造或所述热轧的过程中，藉由控制变形度及/或制造温度以构成复数个铝合金部件，所述等铝合金部件至少为配置于所述半导体反应腔中的一上极板、一下极板、一档板、输送氟离子的一管路及所述半导体反应腔之内壁的其中之一者；其中，在一使用所述氟离子清洗半导体反应腔的过程中，所述等铝合金部件的表面与所述氟离子反应形成氟化铝。本发明能有效减少氟化铝的增长速度，使铝合金部件有更长的使用寿命。此外，本发明还提供了一种半导体反应腔。
今年以来拓荆科技新获得专利授权24个，较去年同期增加了140%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。
通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目97次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息708条，著作权信息22条；此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源：天眼查APP
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