无锡芯感智申请高敏感度高耐压传感器制造工艺及传感器专利，基于较低成本同时提高压力传感器的灵敏度和耐压程度
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2025-06-21 20:07:33
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金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，无锡芯感智科技股份有限公司申请一项名为“一种高敏感度高耐压传感器制造工艺及传感器”的专利，公开号CN120172345A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，一种高敏感度高耐压传感器制造工艺，其通过在压力传感器的背面空腔处设置硅岛膜结构，使得压力敏感元件都位于应力较大的位置，提高了传感器的灵敏度；同时又在硅岛膜结构上制作了镂空结构，当高速气体冲击这个镂空结构时，基于镂空结构的微变型缓冲气体的冲击力，但是不会影响气体透过镂空层，有效地保护了压力传感器的感压膜层，提高了压力传感器的使用寿命，确保硅岛膜结构能够承受更到的压力。本申请通过硅岛膜结构和镂空结构的配合使用，基于较低的成本同时提高压力传感器的灵敏度和耐压程度，确保传感器能够适用于高压环境中。
天眼查资料显示，无锡芯感智科技股份有限公司，成立于2010年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡芯感智科技股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息156条，此外企业还拥有行政许可21个。
来源：金融界
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