艾克塞利斯申请线状或杆状提取电极光学器件专利，基于电位限定带电粒子在多个电极杆之间通过的路径
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2025-06-24 11:38:22
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金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，艾克塞利斯科技公司申请一项名为“线状或杆状提取电极光学器件”的专利，公开号CN120202521A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，一种用于离子注入系统的电极装置，该电极装置具有基板，该基板具有基板孔以及至少一个固定区域。固定装置与每个固定区域相关联，并且多个电极杆通过固定装置选择性地耦合至基板。多个电极杆具有预定形状以限定与基板孔相关联的光学区域。电耦合件电连接至多个电极杆并且配置成电连接至电位。多个电极杆具有预定形状，该预定形状配置成基于电位限定带电粒子在多个电极杆之间通过的路径。该多个电极杆可以限定在离子源的提取孔下游的抑制器或接地电极。
来源：金融界
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