以精密零部件打通半导体设备“险关要隘”_电子应用

以精密零部件打通半导体设备“险关要隘”

创始人

2025-06-25 06:37:37

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中国半导体产业发展如同“攀登珠峰”，如果把半导体设备比作“登山靴”，那精密零部件就是“鞋底”，决定着设备的制造供应和升级迭代，这也曾是国内半导体设备企业被“卡脖子”的环节之一。

富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业，为半导体设备提供机械及机电零组件、气体传输系统等产品，覆盖了芯片制造的光刻、刻蚀、薄膜沉积、涂胶显影等多个环节。目前，富创精密已成为全球为数不多能够为7纳米工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商。

富创精密创始人、董事长郑广文表示，富创精密主要在三大领域发力：一是精密金属零件加工，从OEM（原始设备制造商）起步，目前半导体领域90%的金属零部件都能制作并实现国产化；二是真空阀体等产品类的业务，这些产品很多国产化程度都比较低，有产品90%都依赖进口，国产替代空间广阔；三是气体传输系统，这是公司业绩增长“新曲线”。

“以7纳米芯片为例，已经没法用机械方式去挖沟槽，主要靠化学反应，而化学反应主要靠气体。整个半导体在刻蚀、镀膜、注入等环节都靠气体，对气体传输的洁净程度和控制精准度提出很高要求。”郑广文表示。

目前，气体传输整体系统及关键零组件制造核心技术的国产化率仍然较低，气体传输系统零部件市场主要由少数大型企业主导，而富创精密通过投资的方式弥补了这一关键环节的短板。

郑广文表示：“气体传输业务的增长势头非常好。首先是市场的‘绝对数量’够，气体传输系统大约占整个半导体设备销售额的7%到8%。其次是国产化空间大，目前该领域进口比例较高。最后是富创精密的技术没问题，现在各大半导体设备厂商研发新工艺，富创精密大多都参与设计。”

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