汇投智控申请气体传感器及其制备方法专利，减小气体传感器的体积
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2025-05-18 11:34:27
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金融界 2025 年 4 月 29 日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市汇投智控科技有限公司申请一项名为“气体传感器及其制备方法”的专利，公开号 CN119873732A，申请日期为 2024 年 12 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种气体传感器及其制备方法，包括如下步骤：在第一衬底上制备若干加热层以及与加热层一一连接的若干电极；制备覆盖加热层与电极的覆盖层；基于覆盖层制备若干释放槽；通过部分释放槽蚀刻第一衬底预定深度；获得具有氧化层的盖板层；将器件层具有覆盖层的一侧与盖板层具有氧化层的一侧键合；对盖板层进行开槽处理得到测量通道，测量通道延伸至含有部分加热层的覆盖层以及电极，盖板层与释放槽之间的部分加热层形成参考通道。本申请减小气体传感器的体积，减少封装复杂度，减少制备成本。
天眼查资料显示，深圳市汇投智控科技有限公司，成立于2018年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本10300万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市汇投智控科技有限公司专利信息129条，此外企业还拥有行政许可11个。
来源：金融界
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