汇投智控申请气体传感器及其制备方法专利,减小气体传感器的体积
创始人
2025-05-18 11:34:27
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金融界 2025 年 4 月 29 日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市汇投智控科技有限公司申请一项名为“气体传感器及其制备方法”的专利,公开号 CN119873732A,申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示,本发明公开了一种气体传感器及其制备方法,包括如下步骤:在第一衬底上制备若干加热层以及与加热层一一连接的若干电极;制备覆盖加热层与电极的覆盖层;基于覆盖层制备若干释放槽;通过部分释放槽蚀刻第一衬底预定深度;获得具有氧化层的盖板层;将器件层具有覆盖层的一侧与盖板层具有氧化层的一侧键合;对盖板层进行开槽处理得到测量通道,测量通道延伸至含有部分加热层的覆盖层以及电极,盖板层与释放槽之间的部分加热层形成参考通道。本申请减小气体传感器的体积,减少封装复杂度,减少制备成本。

天眼查资料显示,深圳市汇投智控科技有限公司,成立于2018年,位于深圳市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本10300万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市汇投智控科技有限公司专利信息129条,此外企业还拥有行政许可11个。

来源:金融界

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