惠科微电子等申请肖特基二极管的制作方法及肖特基二极管专利,提高了肖特基二极管的抗静电能力
创始人
2025-08-16 14:42:42
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金融界2025年8月9日消息,国家知识产权局信息显示,青岛惠科微电子有限公司、青岛惠芯微电子有限公司、北海惠科半导体科技有限公司申请一项名为“肖特基二极管的制作方法及肖特基二极管”的专利,公开号CN120456571A,申请日期为2025年04月。

专利摘要显示,本申请属于半导体器件技术领域,具体涉及一种肖特基二极管的制作方法及肖特基二极管,肖特基二极管的制作方法包括:在衬底上形成外延层,在外延层上层热氧化形成初始氧化层,在初始氧化层上刻蚀出金属淀积窗口,金属淀积窗口延伸至外延层,在金属淀积窗口沉积金属层,在保护气体和氧气混合形成的混合气体氛围下进行退火处理,使金属层和部分外延层反应形成势垒金属层,氧气占混合气体的体积比为8%~10%。金属材料在微氧环境下与部分外延层反应生成势垒金属层,微氧环境可诱导部分外延层材料及金属材料轻微氧化,形成致密二氧化硅及金属氧化物界面层,阻断漏电流路径,提高了肖特基二极管的抗静电能力,可满足4kV以上的静电释放能力要求。

天眼查资料显示,青岛惠科微电子有限公司,成立于2019年,位于青岛市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本120000万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛惠科微电子有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目15次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息46条,此外企业还拥有行政许可16个。

青岛惠芯微电子有限公司,成立于2019年,位于青岛市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛惠芯微电子有限公司专利信息41条,此外企业还拥有行政许可3个。

北海惠科半导体科技有限公司,成立于2021年,位于北海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,北海惠科半导体科技有限公司专利信息181条,此外企业还拥有行政许可1个。

来源:金融界

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