矽电半导体申请探针台及测试系统专利，提高测试精度和可靠性
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2025-08-20 22:10:14
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金融界2025年8月20日消息，国家知识产权局信息显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司申请一项名为“探针台及测试系统”的专利，公开号CN120507548A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体测试设备技术领域，提出了一种探针台及测试系统，探针台包括测试架、载片台模组、探针模组和图像采集模组，探针台包括一体成型的架体和安装台，沿Z轴方向，架体设有贯通的容置腔，安装台设有连通容置腔的通槽，安装台位于架体的上侧并部分覆盖容置腔；载片台模组位于容置腔中，载片台模组包括第一驱动组件和载片台，第一驱动组件与架体连接，载片台与第一驱动组件连接；探针模组包括第二驱动组件和探针，第二驱动组件与安装台连接，探针与第二驱动组件连接；图像采集模组与安装台连接，图像采集模组包括采集部，采集部位于通槽的上方。测试系统包括至少两个上述探针台。
天眼查资料显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司，成立于2003年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4172.7274万人民币。通过天眼查大数据分析，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目80次，财产线索方面有商标信息30条，专利信息427条，此外企业还拥有行政许可17个。
来源：金融界
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