ASML申请包括静电夹具的装置和用于操作该装置的方法专利，用于生成自由电荷的机构被配置为在从静电夹具的第一激发状态到静电夹具的第二激发状态的转变期间邻近静电夹具生成自由电荷
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2025-08-22 11:08:55
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金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“包括静电夹具的装置和用于操作该装置的方法”的专利，公开号CN120522982A，申请日期为2019年03月。
专利摘要显示，一种装置包括用于夹持组件的静电夹具和用于邻近静电夹具生成自由电荷的机构。用于生成自由电荷的机构被配置为在从静电夹具的第一激发状态到静电夹具的第二激发状态的转变期间邻近静电夹具生成自由电荷。
来源：金融界
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