北方华创申请承载装置及半导体工艺腔室专利，解决半导体工艺腔室结构复杂造价高问题
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2025-05-19 14:05:29
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金融界 2025 年 5 月 19 日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置及半导体工艺腔室”的专利，公开号 CN119980197A，申请日期为 2025 年 4 月。
专利摘要显示，本发明公开一种承载装置及半导体工艺腔室，属于半导体工艺设备技术领域，所述的承载装置包括依次堆叠的多个承载舟，其中，每个所述承载舟均包括多个舟片和多个导电结构，在每个所述承载舟中，相邻的两个所述舟片中的一者为奇数舟片另一者为偶数舟片；每个所述承载舟中所有的所述奇数舟片以及所有的所述偶数舟片分别通过相应的所述导电结构电连接；在相邻的两个所述承载舟中，上方的所述承载舟的导电结构支撑于下方的所述承载舟的所述导电结构上，并与下方的所述承载舟的所述导电结构电连接。上述方案能解决背景技术中的承载装置会导致半导体工艺腔室的结构较为复杂以及造价较高的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1042次，财产线索方面有商标信息65条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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