上海睿昇半导体取得真空腔用加热器及半导体加工设备专利提升加热器使用效率_电子应用

上海睿昇半导体取得真空腔用加热器及半导体加工设备专利提升加热器使用效率

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2025-08-22 15:08:15

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金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，上海睿昇半导体科技有限公司取得一项名为“一种真空腔用加热器及半导体加工设备”的专利，授权公告号CN223261672U，申请日期为2024年09月。

专利摘要显示，本实用新型涉及半导体装备领域，公开了一种真空腔用加热器及半导体加工设备。其中真空腔用加热器包括加热丝和盘体。其中加热丝的数量设置为至少两个，盘体的数量设置为多个，多个盘体层叠设置，任意相邻两个盘体之间均设置有加热丝，且多个该盘体由导热材料制成。当使用该真空加热器时，两个加热丝将被通入热源对置于最上方盘体的待加热产品进行加热，使待加热产品有较快的升温速率和更好的热稳定性，进而提高该真空用加热器的使用效率，减少待加热产品的报废率。

天眼查资料显示，上海睿昇半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1600万人民币。通过天眼查大数据分析，上海睿昇半导体科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息110条，此外企业还拥有行政许可6个。

来源：金融界

企业显示半导体盘体真空睿昇设备专利加工加热器真空腔

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