源一工程申请半导体工艺设备防微震平台及其使用方法专利，可有效实现设备防微震
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2025-08-23 13:38:19
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金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，江苏源一工程科技有限公司申请一项名为“一种半导体工艺设备防微震平台及其使用方法”的专利，公开号CN120520934A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明一种半导体工艺设备防微震平台及其使用方法，包括从上到下依次设置的设备安装层、动态平衡层、多级隔震层、基础连接层以及智能控制单元，设备安装层包括安装基板，其表面设有设备定位结构；动态平衡层包括动态平衡板与集成分布于动态平衡板四边的杠杆式平衡机构，动态平衡板通过万向铰支机构与设备安装层连接，杠杆式平衡机构末端设有可调偏心距的质量块；多级隔震层包含同心环式弹性单元，基础连接层包括与外部基础固定的刚性底板及高度调节机构，同心环式弹性单元的一端与动态平衡板下方固定连接，同心环式弹性单元的另一端与刚性底板上方固定连接，同时刚性底板通过高度调节机构与动态平衡板可调节连接。
天眼查资料显示，江苏源一工程科技有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事建筑安装业为主的企业。企业注册资本6219万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏源一工程科技有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息87条，此外企业还拥有行政许可9个。
来源：金融界
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