华虹半导体申请存储单元侧墙制造方法专利，缩小凹陷侧掏深度
创始人
2025-05-20 15:07:06
0次
金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，华虹半导体（无锡）有限公司申请一项名为“存储单元侧墙的制造方法”的专利，公开号CN120015622A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及存储单元侧墙的制造方法。所述存储单元侧墙的制造方法包括以下步骤：提供半导体衬底，所述半导体衬底上形成多个相间隔的存储单元，所述存储单元的侧壁上形成L型侧墙结构，该L型侧墙结构包括由下至上依次层叠的底层氧化硅层、氮化硅层和上层氧化硅层；淀积金属硅化物阻挡层，所述金属硅化物阻挡层覆盖在L型侧墙结构的表面；刻蚀所述金属硅化物阻挡层，对所述L型侧墙结构的底层氧化硅层边缘造成侧掏形成凹陷；在金属硅化物制作完成后，通过应力临近刻蚀工艺刻蚀外露的氮化硅层，缩小所述凹陷的侧掏深度；淀积介质层，所述介质层填充满缩小后的凹陷。
天眼查资料显示，华虹半导体（无锡）有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析，华虹半导体（无锡）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2912次，专利信息1654条，此外企业还拥有行政许可117个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
中远通：有服务器电源产品可配套...
金融界7月14日消息，有投资者在互动平台向中远通提问：公司的产品能用于数据中心、东数西算方面吗？ 公...
中瑞电子申请电流互感器自动智能...
金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，宜兴市中瑞电子科技有限公司申请一项名为“电流...
博世申请直流变压器设备和运行方...
金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“直流变压器...
特斯拉小米华为等不服！一汽奥迪...
快科技7月14日消息，消费级芯片到底该不该用在车上，这个话题又一次引起了网友的热议。 近日，一汽奥迪...
ETF融资榜 | 科创芯片ET...
2025年7月11日，科创芯片ETF（588200.SH）收涨2.07%，成交28.24亿元。获融资...
芯片ETF：7月11日融资买入...
证券之星消息，7月11日，芯片ETF（159995）融资买入9443.75万元，融资偿还9432.9...
原创 芯...
当美国商务部又一次举起芯片管制的铁锤，中国科技企业却在火星上发回了自拍照。这种魔幻场景背后藏着中美之...
上海积塔半导体申请一种半导体结...
金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海积塔半导体有限公司申请一项名为“一种半导...
睿昇半导体取得夹具专利，减少装...
金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海睿昇半导体科技有限公司取得一项名为“夹具...
万州建成国内首个化合物半导体芯...
近日，威科赛乐微电子股份有限公司化合物半导体芯片封装模组生产线在万州经开区正式投入量产，这也是国内首...