丽馨光电申请带有冷却功能半导体热处理设备及其使用方法专利，有助于提升退火加工效率
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2025-05-20 16:07:27
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金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，丽馨光电（江门）有限公司申请一项名为“一种带有冷却功能的半导体热处理设备及其使用方法”的专利，公开号CN120015655A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，本发明提供一种带有冷却功能的半导体热处理设备及其使用方法，涉及半导体热处理设备技术领域，包括热处理箱、竖立丝杠、冷却盘、加热盘和晶圆；所述冷却盘上滑动安装有通过弹簧顶推定位的顶推架；所述冷却盘被驱使向下滑动时，T形顶推板与纵置受力板抵靠接触，能顶推加热盘向下滑动，并利用热处理箱的底板反推顶推架向上滑动将晶圆与冷却盘顶推分离，且冷却盘被驱使向下滑动的过程中和与冷却盘分离的晶圆贴合接触，用于对热处理后的晶圆实施冷却退火。在冷却退火时晶圆被顶推架向上反推与加热盘分离，这可避免需冷却盘额外付诸冷却负荷对加热盘施加于晶圆上的余温热量实施冷却降温，有助于提升退火加工效率并降低退火加工能耗。
天眼查资料显示，丽馨光电（江门）有限公司，成立于2022年，位于江门市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，丽馨光电（江门）有限公司参与招投标项目5次，专利信息2条，此外企业还拥有行政许可2个。
来源：金融界
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