粤芯半导体申请OPC修正方法相关专利，降低金属线发生短路的风险
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2025-05-21 18:10:39
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金融界2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，粤芯半导体技术股份有限公司申请一项名为“OPC修正方法、半导体设备及半导体产品”的专利，公开号CN120010176A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本申请提供了一种OPC修正方法、半导体设备及半导体产品，涉及半导体制造技术领域，解决了相关技术中通孔圆整程度低而在显影刻蚀后容易出现短路的问题，本申请方案通过对通孔版图设计的修正，从而调整对应通孔的目标图形，提升了成像对比度，从而提升成像质量，并且还使得显影刻蚀后的通孔之间的间距增加，减小了出现尖角的概率，降低了金属线发生短路的风险。而且由于通孔之间的间距增加，可进一步扩大工艺窗口，有助于提升平台的竞争力。
天眼查资料显示，粤芯半导体技术股份有限公司，成立于2017年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本236559.1397万人民币。通过天眼查大数据分析，粤芯半导体技术股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目114次，财产线索方面有商标信息46条，专利信息996条，此外企业还拥有行政许可129个。
来源：金融界
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