ASML申请电子光学元件专利，用于带电粒子光学模块
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2025-05-22 02:01:41
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金融界2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“电子光学元件”的专利，公开号CN120019465A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，一种用于带电粒子光学模块的带电粒子光学元件，所述带电粒子光学模块被配置为沿着至少一个束路径引导带电粒子，所述带电粒子光学元件包括：基板，包括至少一个孔，所述至少一个孔用于所述至少一个束路径从其通过；至少一个电子部件，以提供所述基板的部件表面；以及电连接件，被电连接到所述至少一个电子部件并且延伸穿过所述基板；其中，所述基板包括较厚部分和比所述较厚部分薄的较薄部分，并且所述电连接件延伸穿过所述较薄部分。
来源：金融界
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