北方华创申请调节装置和半导体工艺设备专利，可调整第一连接件与第二连接件的间距
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2025-05-22 16:36:29
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金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“调节装置和半导体工艺设备”的专利，公开号CN120020272A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种调节装置和半导体工艺设备，其中，所述调节装置包括：第一连接件、第二连接件和至少三个间距调整器；第一连接件与第二连接件间隔设置，间距调整器包括第三连接件和滑动器，第三连接件的一端与第一连接件转动连接，另一端与滑动器连接，第一连接件的与各第三连接件相连的连接部位不共线，第二连接件设有多个滑轨，滑轨的数量与间距调整器的数量相等，滑动器一一对应地与滑轨滑动连接；第一连接件和第二连接件中的一者用于与磁控管组件连接，第一连接件和第二连接件中的另一者用于与驱动磁控管组件旋转的旋转驱动装置连接；间距调整器用于调整第一连接件与第二连接件的间距。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1044次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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