盛吉盛半导体申请晶圆冷却处理相关专利，保持负载锁室内的气压的稳定
创始人
2025-05-22 18:34:17
0次
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司申请一项名为“晶圆冷却处理装置、方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120020472A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种晶圆冷却处理装置、方法及半导体工艺设备，其中的装置包括用于放置待冷却的晶圆的负载锁室以及设置在负载锁室上的进气口和排气阀；其中，进气口与外部冷却气源连接，用于将冷却气体喷射至负载锁室内，以对晶圆进行冷却；当负载锁室内的气压大于第一预设值时，排气阀打开并排放冷却气体，当负载锁室内的气压小于第二预设值时，排气阀关闭，以将负载锁室内的气压保持在预设范围内。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
极米光电申请一种音效模式切换方...
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，宜宾市极米光电有限公司申请一项名为“一种音效...
信濠光电收盘下跌1.80%，最...
5月22日，信濠光电今日收盘21.87元，下跌1.80%，最新市净率1.67，总市值37.00亿元。...
联合光电并购长益光电，布局消费...
联合光电去年出现增收不增利的情况，应收类账目也在近年来不断提升。 近期，中山联合光电科技股份有限公司...
中石油东方物探申请高精度井地电...
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，中国石油天然气集团有限公司;中国石油集团东方...
瑞昱半导体申请具有动态电感值调...
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，瑞昱半导体股份有限公司申请一项名为“具有动态...
赛普拉斯半导体申请数字锁相环专...
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，赛普拉斯半导体公司申请一项名为“数字锁相环”...
外交部回应林佳龙：狂妄无知
5月22日，外交部发言人毛宁主持例行记者会。 路透社记者提问，台湾外事部门负责人林佳龙昨日表示，“台...
格力电器：公司有小台式至全尺寸...
金融界5月22日消息，有投资者在互动平台向格力电器提问：关于洗碗机，现在各品牌的都不能做到洗碗，储碗...
海信视像申请显示设备及显示设备...
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，海信视像科技股份有限公司申请一项名为“显示设...
发现好公司|杰华特一季度营收激...
图源：图虫创意 来源|时代商业研究院 作者|孙华秋 编辑|韩迅 【导语】 5月20日晚，科创板模拟芯...