博升光电申请晶圆背面对准方法专利，可实现±0.1μm的读数精度
创始人
2025-12-29 15:08:53
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国家知识产权局信息显示，浙江博升光电科技有限公司申请一项名为“一种晶圆背面对准方法”的专利，公开号CN121215587A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆背面对准方法，通过第一刻度和第二刻度中一者为主刻度，另一者为游标刻度，将第一对准标记与第二对准标记之间的微米级偏移量转化为可视化的刻度对齐判断，从而在显微镜图像下可实现±0.1μm的读数精度，与现有技术中±0.5μm相比，提升了5倍；在芯片背面对准方法中，采用紫外光刻机（MA6/MA8）刻蚀对准标记与刻度，然后采用电子束曝光机（EBL）刻蚀最终光学结构的分工设计，有助于保证亚微米级对准精度的同时，实现效率与成本的最优平衡。
天眼查资料显示，浙江博升光电科技有限公司，成立于2019年，位于嘉兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江博升光电科技有限公司参与招投标项目3次，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可2个。
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来源：市场资讯
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