国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“用于快速阻抗调谐的射频(RF)匹配网络”的专利,公开号CN121285873A,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,一些实施方式是针对调谐电路。所述调谐电路通常包括:耦合在所述调谐电路的第一端子与第二端子之间的第一阻抗,其中所述第一端子耦合到产生器,且所述第二端子耦合到负载;耦合在所述调谐电路的所述第一阻抗与参考电势节点之间的第二阻抗;以及耦合到所述第一阻抗或所述第二阻抗的信号路径,所述信号路径包括电感元件及耦合到所述电感元件的第一开关,其中所述第一开关的控制输入耦合到所述调谐电路的控制输入,所述调谐电路的所述控制输入经配置以接收与脉冲电压(PV)波形相关联的控制信号。
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