歌尔微电子申请敏感膜、MEMS芯片和传感器专利，提高MEMS麦克风芯片的机械灵敏度
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2025-05-23 20:37:11
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金融界2025年5月23日消息，国家知识产权局信息显示，歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“敏感膜、MEMS芯片和传感器”的专利，公开号CN120034808A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本发明公开了一种敏感膜、MEMS芯片和传感器，涉及声电转换设备技术领域，其中，敏感膜包括膜本体和第一环形褶皱部，膜本体包括第一面和第二面，第一环形褶皱部设置于第二面，第一环形褶皱部形成贯穿第一面的第一开口槽，第一环形褶皱部的数量为至少两个，膜本体设置有中心区域，至少两个第一环形褶皱部沿第一方向依次环设于中心区域；任意相邻两个第一环形褶皱部的形状尺寸不完全相同，形状尺寸包括第一环形褶皱部的厚度尺寸，第一开口槽的深度尺寸以及宽度尺寸至少之一，第一方向与振动方向垂直。通过调节第一环形褶皱部的形状尺寸来对MEMS麦克风芯片的机械灵敏度进行调节，从而进一步提高MEMS麦克风芯片的机械灵敏度。
天眼查资料显示，歌尔微电子股份有限公司，成立于2017年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本61243.8891万人民币。通过天眼查大数据分析，歌尔微电子股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目126次，专利信息1687条，此外企业还拥有行政许可23个。
来源：金融界
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