江苏艾克赛勒取得半导体晶圆加工夹持翻转装置专利，有效解决晶圆翻转过程中易损坏问题
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2026-01-12 17:10:09
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国家知识产权局信息显示，江苏艾克赛勒金属科技有限公司取得一项名为“一种半导体晶圆加工夹持翻转装置”的专利，授权公告号CN223786507U，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种半导体晶圆加工夹持翻转装置，包括基座和定位夹持翻转组件，定位夹持翻转组件包括安置槽、夹持台、移动轴和转把，安置槽与基座固定连接，并位于基座的内部中心，夹持台与基座拆卸连接，并位于基座的内部，且夹持台设置在安置槽的内部中心，移动轴与夹持台转动连接，并位于夹持台的内部上方，转把与移动轴转动连接，并位于移动轴远离夹持台的一端，且转把设置在基座的上方一侧，通过将原有的夹持结构修改替换为定位夹持翻转组件，由此将有效的解决了现有的机械夹持装置又无法实现精准的翻转角度控制，在翻转过程中容易导致晶圆晃动、偏移甚至损坏，严重影响了加工质量和生产效率的问题。
天眼查资料显示，江苏艾克赛勒金属科技有限公司，成立于2016年，位于苏州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1688万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏艾克赛勒金属科技有限公司专利信息53条，此外企业还拥有行政许可3个。
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