华进半导体申请扇出封装结构及制备方法专利,实现工艺制程中翘曲程度的有效控制
创始人
2026-01-13 09:09:14
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国家知识产权局信息显示,华进半导体封装先导技术研发中心有限公司申请一项名为“一种扇出封装结构及其制备方法”的专利,公开号CN121311038A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体封装技术领域,公开了一种扇出封装结构及其制备方法。制备方法包括:提供临时载板;在临时载板上设置正面朝向临时载板的目标芯片;在目标芯片的四周布设多个厚度大于目标芯片厚度的辅助芯片;形成包覆目标芯片和辅助芯片的塑封层;去除临时载板;在露出目标芯片和辅助芯片的塑封层的一侧表面形成重布线层,目标芯片与重布线层电连接。本发明中,在较薄的目标芯片四周设置较厚的辅助芯片,通过控制辅助芯片的数量、大小和分布,改变硅占比或者应力分布,同时,还可以采用厚度远大于目标芯片的辅助芯片,来增大后续工艺制程中灵活调整硅占比的可能性,从而实现工艺制程中翘曲程度的有效控制,提高扇出封装结构的可靠性和性能。

天眼查资料显示,华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,成立于2012年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本46246.82万人民币。通过天眼查大数据分析,华进半导体封装先导技术研发中心有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目104次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息1113条,此外企业还拥有行政许可55个。

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来源:市场资讯

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