华润微电子申请电容式压力传感器及其制造方法、电子装置专利，提供电容式压力传感器制造新方法_电子应用

华润微电子申请电容式压力传感器及其制造方法、电子装置专利，提供电容式压力传感器制造新方法

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2025-05-24 10:06:35

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金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，华润微电子控股有限公司申请一项名为“一种电容式压力传感器及其制造方法、电子装置”的专利，公开号CN120027940A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，一种电容式压力传感器及其制造方法、电子装置，该方法包括：提供器件基底，包括第一衬底和形成于第一衬底的第一表面的电容层，以及第一区域和第二区域，电容层包括第一电容结构和第二电容结构，第一电容结构位于第一区域，包括固定电极和可动电极，其间设置有第一介质层，第二电容结构位于第二区域，包括第一电极和第二电极，其间设置有第二介质层，其中，固定电极形成有释放孔；刻蚀第一区域内的部分第一衬底，以形成第一空腔，第一空腔露出固定电极；通过释放孔和第一空腔，利用刻蚀剂刻蚀去除部分第一介质层，以在固定电极和可动电极之间形成第二空腔；提供第二衬底，将第一衬底的第二表面与第二衬底的表面相接合，以密封第一空腔。

天眼查资料显示，华润微电子控股有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本141126.4485万美元。通过天眼查大数据分析，华润微电子控股有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目44次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息124条，此外企业还拥有行政许可3个。

来源：金融界

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