国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN121368124A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本申请提供一种半导体结构及其形成方法,所述半导体结构包括:半导体衬底,所述半导体衬底表面形成有若干闪存单元,所述闪存单元包括依次堆叠于所述半导体衬底表面的隧穿氧化层、浮栅层、栅间介质层和控制栅层,所述控制栅层与所述栅间介质层的厚度之比为(5‑15):1,所述闪存单元侧壁形成有侧墙层;第一掺杂区,位于所述闪存单元两侧的半导体衬底中;第二掺杂区,位于所述侧墙层两侧的半导体衬底中;层间介质层,位于所述半导体衬底上覆盖所述半导体衬底、所述闪存单元和所述侧墙层。本申请提供一种半导体结构及其形成方法,可以在不影响源漏区掺杂工艺的情况下降低栅间深宽比,降低层间介质层填充难度,减少漏极之间短路的风险。
天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目53次,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可225个。
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目129次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可446个。
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来源:市场资讯