真芯半导体取得兼容不同尺寸晶圆匣的清洗设备专利
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2026-01-23 14:12:28
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国家知识产权局信息显示，真芯（北京）半导体有限责任公司取得一项名为“一种清洗设备”的专利，授权公告号CN114628310B，申请日期为2020年12月。

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