神州半导体申请基于电容阵列的射频电源阻抗匹配方法专利，避免射频电源与等离子腔体之间的持续不匹配状态
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2025-05-25 01:36:47
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金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，江苏神州半导体科技有限公司申请一项名为“一种基于电容阵列的射频电源阻抗匹配方法”的专利，公开号CN120030360A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，本发明属于射频电源技术领域，提供了一种基于电容阵列的射频电源阻抗匹配方法，电容阵列包括若干相互并联的电容单元，每个电容单元均连接有射频功率开关管，由射频功率开关管控制电容单元的接入；方法包括：实时监测反射系数Γ；若反射系数Γ超出设定范围，预训练完成的匹配模型基于等离子浓度变化速率和当前t时刻的等离子浓度，预测t+1时刻的等离子浓度和腔体负载阻抗，生成开关管驱动信号作用于射频功率开关管控制通断；将t+1时刻的实际等离子浓度和实际腔体负载阻抗输入匹配模型的输入端进行自适应学习。
天眼查资料显示，江苏神州半导体科技有限公司，成立于2016年，位于扬州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本2345.679万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏神州半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目28次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息112条，此外企业还拥有行政许可23个。
来源：金融界
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