乾照光电获得发明专利授权：“一种用于LED晶圆制程的装置”_电子应用

乾照光电获得发明专利授权：“一种用于LED晶圆制程的装置”

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2026-01-28 03:39:22

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示乾照光电（300102）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于LED晶圆制程的装置”，专利申请号为CN202210057723.X，授权日为2026年1月27日。

专利摘要：本发明提供了一种用于LED晶圆制程的装置，包括载盘和压环，载盘侧面为倾斜面，载盘侧面与晶圆放置面形成载盘倾斜角，压环用于固定载盘，压环定位角用于定位载盘倾斜角，压片部用于压住载盘边缘。本发明设置压环定位角与载盘倾斜角的形状、角度相匹配，在适当增大载盘尺寸的同时，既避免载盘过大导致压环无法压住载盘的问题，使机台能正常工作，又能避免制程时传入到腔室内，载盘与压环产生摩擦过程中，载盘易偏离压环的固定，可有效保证载盘的寿命和晶圆加工良率，实现稳定规模化量产。

今年以来乾照光电新获得专利授权17个。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了8878.26万元，同比增26.51%。

通过天眼查大数据分析，厦门乾照光电股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目41次；财产线索方面有商标信息23条，专利信息558条，著作权信息2条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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企业数据投资信息方面乾照光电天眼倾斜角查大专利载盘晶圆压环制程

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