捷捷微电取得负压产生装置与半导体加工系统专利,防止负压泵被大颗粒生成物卡死
创始人
2026-01-29 10:16:20
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国家知识产权局信息显示,捷捷微电(南通)科技有限公司取得一项名为“一种负压产生装置与半导体加工系统”的专利,授权公告号CN223839282U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本申请提供了一种负压产生装置与半导体加工系统,涉及半导体加工技术领域。该负压产生装置包括主管道、支路管道、第一集尘机构以及负压泵,主管道竖直设置,且第一集尘机构位于主管道的最下方,并与主管道可拆卸连接,主管道的上方用于与加工设备连通;支路管道的一端与主管道连通,另一端与负压泵连通;支路管道与第一集尘机构之间间隔设置,且支路管道与主管道之间的角度大于0度,以使支路管道的另一端与主管道在水平面上的投影无交叠。本申请提供的负压产生装置与半导体加工系统能够起到防止负压泵被大颗粒生成物卡死的效果。

天眼查资料显示,捷捷微电(南通)科技有限公司,成立于2020年,位于南通市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本267961.97万人民币。通过天眼查大数据分析,捷捷微电(南通)科技有限公司参与招投标项目39次,专利信息81条,此外企业还拥有行政许可13个。

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来源:市场资讯

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