微导纳米取得进气装置及半导体设备专利，能够提高镀膜的均匀性
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2026-01-30 18:46:13
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国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“一种进气装置及半导体设备”的专利，授权公告号CN223852769U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开的进气装置和半导体设备，进气装置包括进气件和匀气件，进气件上至少设置有两个进气通道，进气件与匀气件层叠设置，匀气件上设置有与各个进气通道连通的匀气腔，各个匀气腔的底部均设置有若干与匀气腔连通的匀气孔。本实用新型公开的进气装置，使得至少两种工艺气体能够隔离输送，防止不同的工艺气体在进气装置中因混合发生化学反应，能够减少在进气装置中产生颗粒；匀气孔的设置增大了气体反向流动阻力，减小了不同的工艺气体发生反流的可能，能够提高镀膜的均匀性。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目54次，财产线索方面有商标信息86条，专利信息588条，此外企业还拥有行政许可69个。
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来源：市场资讯
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