吉姆西半导体取得供液系统专利减少系统布置整体投入
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2026-02-03 09:13:08
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国家知识产权局信息显示，吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司取得一项名为“一种供液系统”的专利，授权公告号CN223872710U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体加工液体供给领域，提供了一种供液系统，用于向加工设备供液，系统包括：第一液体储存机构，用于储存原液；第二液体储存机构，连接于第一液体储存机构和加工设备之间；真空发生器，连接于第二液体储存机构，用于利用负压吸除第二液体储存机构内部的气体，以及将原液从第一液体储存机构负压吸取至第二液体储存机构；供气机构，连接于第二液体储存机构，用于向第二液体储存机构中充入惰性气体，利用气压将原液从第二液体储存机构压入加工设备。方案中以真空发生器和供气机构替代传统的液泵，减少了系统布置的整体投入，同时消除原先采用的两级液泵及其配套管路，减少了对安装空间的占用。
天眼查资料显示，吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司，成立于2014年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本36715.6957万人民币。通过天眼查大数据分析，吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司共对外投资了32家企业，参与招投标项目231次，财产线索方面有商标信息37条，专利信息243条，此外企业还拥有行政许可45个。
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来源：市场资讯
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